光刻机有后门吗：ASML能否远程关闭中国的光刻机

6月9日消息，光刻关闭近日，后门荷兰光刻机巨头ASMLCEO傅恪礼（Christophe Fouquet）接受媒体采访时明确表示，远程美国出台的中国打压措施只会适得其反，让中国“更努力取得成功”。刻机

ASML是光刻关闭全球唯一一家高端光刻机的制造商。傅恪礼称，后门中国已经开始研发一些国产光刻设备，远程尽管中国在赶超ASML的中国技术方面还有很长的路要走，但“你试图阻止的刻机人会更加努力地取得成功。”

傅恪礼补充道：“无论你设置多少障碍都没用。光刻关闭”

据此前报道，后门中国科学院成功研发除了突破性的远程固态DUV(深紫外)激光，可发射193nm的中国相干光，与目前主流的刻机DUV曝光波长一致，能将半导体工艺推进至3nm。

在国产光刻机真正完成替代之前，我们依然需要使用ASML的DUV光刻机。

那么就有一个很多人关心的问题，光刻机有后门吗？外国公司是否能够远程控制我国的光刻机？

据国内媒体报道，复旦大学网络空间国际治理研究基地特邀研究员、B站知名半导体up主芯声对此表示：

“根据我掌握的消息和个人分析，我们应该能在2028年完成28nm工艺的安全化。所谓安全化，并非将所有设备和工序一律国产化，而是确保28nm工艺所需要素可持续供应，并部分以国产材料替代。到2030年，我们有望同样实现14nm工艺的安全化。”

这意味着，到2028年，我们可在基站等关键基础设施领域实现芯片全面国产化。到2030年，若成功实现14nm制程生产安全化，就能彻底跨过AI芯片的门槛，为我们的AI芯片生产提供一个基础的安全保障，尽管可能到时候这条产线上生产的AI芯片不会太先进。

“我之前曾参与过与ASML的谈判，对方曾明确希望将我们的光刻机接入外网，理由是便于他们提供更优质的服务——只要将机器连接到互联网，ASML预装的远程运维系统即可实时传回所有数据。一旦出现故障，便可随时远程处理，无需人工收集后再上传。”

所以在这个背景下，你觉得它是否会留下后门、能否被远程关闭？毕竟ASML方面自己都说了，只要联网，就能处理一切问题。